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UNCDシリコンウェハー(MEMS関連用途)

ADT社は、優位な特性の高い、薄いフィルム状の結晶ダイヤモンドを提供しています。

UNCDウェハー

UNCDアクアシリーズのウェハーは、純粋なナノ結晶状のダイヤモンドフィルムです。他のナノ結晶状ダイヤモンドフィルムは一般に、ナノ結晶状ダイヤモンドに黒鉛状物質が付着した混合物質を含有していますが、UNCDは非結晶物質および黒鉛状物質を含有していません。

その為、UNCDは天然ダイヤモンドと同等の硬度および極限的な特性を持ちますが、同時に低摩擦、低吸着性、スムース性、非常に低い内部応力 等の特性を併せ持ちます。

UNCDウェハーには大きく分けてUNCD DoSiTMおよびUNCD DOITMウェハーの2種類がございます。UNCD DoSiTMはUNCDアクアシリーズ(超薄膜ダイヤモンド)が直接シリコンウェハー上に沈着・形成しています。一方、UNCD DOITMは、UNCDアクアシリーズとシリコンウェハーの間に、約1ミクロンの酸化シリコン(熱酸化物)のレイヤーが挟まった状態で沈着・形成しています。

UNCDアクアシリーズのウェハーには、特性範囲およびアプリケーションに合わせ、様々なグレードをご用意しております。詳しくは下記より製品カタログをご覧ください。

MEMSデバイスへのUNCDのアプリケーション例

  • RF MEMS Resonator(共振器)
  • RF MEMSスイッチ
  • AFMプローブ
  • 3D成形

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