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NaDiaProbes® 原子間力顕微鏡用UNCD プローブ

実際のNaDiaProbes® プローブ拡大写真

ADT社(Advanced Diamond Technology)は、米国のArgonne国立研究所が所有している、ナノダイヤモンド膜(UNCD : Ultrananocrystalline Diamond)の利用および製造・マイクロマシーニングに関する特許を基に2003年に設立されました。

NaDiaProbesは、AFM(原子間力顕微鏡)用のダイヤモンド製プローブ(カンチレバー)です。このプローブは、ダイヤモンド被膜ではなく 100%ダイヤモンドで形成されているため、耐久性に優れ、低摩擦による高精度の解析を実現します。

サポートドキュメント(技術資料)

NaDiaProbes Support Document

特徴

  • 原子間力顕微鏡(AFM)のカンチレバーの交換用プローブ
  • 従来のシリコンやSiNプローブに比べ、耐久性(耐摩耗性)が高く破損しにくい
    >> 100スキャン以上の測定が可能
  • 従来のシリコンやSiNプローブに比べ、データの安定性が高い
  • 表面が低エネルギーのため、ソフトで粘性のあるサンプル/基板でも優れた画像性能を発揮
  • 低摩擦によりイメージング中のサンプルダメージを抑制

用途別の3つのモード

  • Dynamic (Tapping) mode
  • Dynamic mode - Electrically Conductive Dynamic mode
    →カンチレバーおよびプローブチップが、 1オーム-cm未満の電気抵抗率の電気伝導性を持つUNCDから作られているダイヤモンド製のAFM用プローブ
  • Contact mode

NaDiaProbesと従来のSiNプローブとの耐久性の比較

NaDiaProbes®

Advanced Diamond Technologies(ADT)社のNaDiaProbes®は、AFM(原子間力顕微鏡)用のダイヤモンド製プローブ(カンチレバー)です。このプローブはダイヤモンド被膜ではなく、100%ダイヤモンドで形成されているため、耐久性に優れ、低摩擦による高精度の解析を実現し、従来のSiやSiN製のカンチレバーでは実現できなかった適用も可能です。

ND-DYI シリーズ: Dynamic Mode( 4-sided pyramid )

<TIP>
  • Shape : Four-sided pyramid
  • Height : 5.7 μm (± 0.1)
  • Radius : Less than 50 nm
  • Material : UNCD (polycrystalline diamond)
<Cantilever>
  • Tip Setback : 8.5 µm (± 4.0 µm)
  • Coating : 70 nm (± 10) reflective aluminum coating
  • Curvature : Nominally less than 3 degrees
  • Chip : Pyrex (3.6 x 1.5 x 0.5 mm)
品番 Force Constant(N/m) Frequency(kHz) Length
(μm)
Width
(μm)
Thickness
(μm)
Nominal Range Nominal Range (±10) (±2) (±0.5)
ND-DYIRS-5 35 25−40 310 150−400 135 33 3

ND-CTI シリーズ: Contact Mode( 4-sided pyramid )

<TIP>
  • Shape : Four-sided pyramid
  • Height : 5.7 µm (± 0.1)
  • Radius : Less than 50 nm
  • Material : UNCD (polycrystalline diamond)
<Cantilever>
  • Tip Setback : 9μm
  • Coating : 70 nm (± 10) reflective aluminum coating
  • Curvature : Nominally less than 3 degrees
  • Chip : Pyrex (3.6 x 1.5 x 0.5 mm)
品番 Force Constant(N/m) Frequency(kHz) Length
(μm)
Width
(μm)
Thickness
(μm)
Nominal Range Nominal Range (±5) (±2) (±0.2)
ND-CTIT1S-5 1.28 1.00-1.50 48 25-70 200 25 1
ND-CTIT1L-5 0.46 0.30-0.60 24 12-40 300 41 1
ND-CTIT2S-5 0.71 0.50-0.95 50 25-75 200 17 1
ND-CTIT2L-5 0.04 0.02-0.05 23 12-45 300 23 1
ND-CTIR1S-5 0.35 0.25-0.45 35 20-50 225 30 1
ND-CTIR1M-5 0.17 0.10-0.25 17 10-25 325 40 1
ND-CTIR1L-5 0.04 0.02-0.05 12 6-20 425 20 1
ND-CTIR2S-5 0.23 0.15-0.30 40 20-60 225 20 1
ND-CTIR2M-5 0.08 0.05-0.10 12 6-20 425 40 1
ND-CTIR2L-5 0.05 0.03-0.07 8 4-16 500 40 1

ND-SSR シリーズ: Scanning Spreading Resistance Microscopy (拡がり抵抗顕微鏡)

<TIP>
  • Shape : Three-sided pyramid
  • Height : 5.7 µm (± 0.1)
  • Radius : Less than 50 nm
  • Material : Conductive UNCD (polycrystalline diamond)
<Cantilever>
  • Tip Setback : 9μm
  • Coating : 70 nm (± 10) reflective aluminum coating
  • Curvature :Nominally less than 3 degrees
  • Chip : Pyrex (3.6 x 1.5 x 0.5 mm)
品番 Force Constant(N/m) Frequency(kHz) Length
(μm)
Width
(μm)
Thickness
(μm)
Nominal Range Nominal Range (±5) (±2) (±0.2)
ND-SSCRS-5 27 13-35 265 150-355 130 33 2.3
ND-SSCRL-5 5.5 4-7 80 50-110 245 42 2.3

ND-DYC シリーズ: Dynamic Conductive Mode( 4-sided pyramid )

<TIP>
  • Shape : Four-sided pyramid
  • Height : 5.7 µm (± 0.1)
  • Radius : Less than 50 nm
  • Material : Conductive UNCD (polycrystalline diamond)
<Cantilever>
  • Tip Setback : 8.5 µm (± 4.0µm)
  • Coating : 70 nm (± 10) reflective aluminum coating
  • Curvature :Nominally less than 3 degrees
  • Chip : Pyrex (3.6 x 1.5 x 0.5 mm)
品番 Force Constant(N/m) Frequency(kHz) Length
(μm)
Width
(μm)
Thickness
(μm)
Nominal Range Nominal Range (±5) (±2) (±0.2)
ND-DYCRS-5 35 35-40 310 150-400 135 33 3

ND-CTC シリーズ: Conductive Contact Mode( 4-sided pyramid )

<TIP>
  • Shape : Four-sided pyramid
  • Height : 5.7 µm (± 0.1)
  • Radius : Less than 50 nm
  • Material : Conductive UNCD (polycrystalline diamond)
<Cantilever>
  • Tip Setback : 9 µm
  • Coating : 70 nm (± 10) reflective aluminum coating
  • Curvature :Nominally less than 3 degrees
  • Chip : Pyrex (3.6 x 1.5 x 0.5 mm)
品番 Force Constant(N/m) Frequency(kHz) Length
(μm)
Width
(μm)
Thickness
(μm)
Nominal Range Nominal Range (±5) (±2) (±0.2)
ND-CTCR1S-5 0.35 0.25-0.45 35 20-50 225 30 1
ND-CTCR1M-5 0.17 0.01-0.25 17 10-25 325 40 1
ND-CTCR1L-5 0.04 0.02-0.05 12 6-20 425 20 1
ND-CTCR2S-5 0.23 0.15-0.30 40 20-60 225 20 1
ND-CTCR2M-5 0.08 0.05-0.10 12 6-20 425 40 1
ND-CTCR2L-5 0.05 0.03-0.07 8 4-16 500 40 1
ND-CTCT1S-5 1.28 1.00-1.50 48 25-70 200 25 1
ND-CTCT1L-5 0.46 0.30-0.60 24 12-40 300 41 1
ND-CTCT2S-5 0.71 0.50-0.95 50 25-75 200 17 1
ND-CTCT2L-5 0.04 0.02-0.05 23 12-45 300 23 1

AD-DYC シリーズ: Sharp Conductive Dynamic Mode

<TIP>
  • Shape : Apex
  • Height : 5.7 μm (± 0.1)
  • Radius : Less than 10 nm
  • Material :Conductive UNCD (polycrystalline diamond)
<Cantilever>
  • Tip Setback : 8.5 µm (± 4.0 µm)
  • Coating : 70 nm (± 10) reflective aluminum coating
  • Curvature : Nominally less than 3 degrees
  • Chip : Pyrex (3.6 x 1.5 x 0.5 mm)
品番 Force Constant(N/m) Frequency(kHz) Length
(μm)
Width
(μm)
Thickness
(μm)
Nominal Range Nominal Range (±10) (±2) (±0.4)
AD-DYCRS-5 35 30-45 300 150-400 135 33 3

AD-CTC シリーズ: Sharp Conductive Contact Mode

<TIP>
  • Shape : Apex
  • Height : 5.7 μm (± 0.1)
  • Radius : Less than 10 nm
  • Material : Conductive UNCD (polycrystalline diamond)
<Cantilever>
  • Tip Setback : 9μm
  • Coating : 70 nm (± 10) reflective aluminum coating
  • Curvature : Nominally less than 3 degrees
  • Chip : Pyrex (3.6 x 1.5 x 0.5 mm)
品番 Force Constant(N/m) Frequency(kHz) Length
(μm)
Width
(μm)
Thickness
(μm)
Nominal Range Nominal Range (±10) (±2) (±0.5)
AD-CTCT1S-5 0.66 0.45-0.90 85 50-120 200 25 1
AD-CTCT1L-5 0.23 0.15-0.30 29 15-45 300 41 1
AD-CTCR1S-5 0.23 0.15-0.30 34 19-48 225 30 1
AD-CTCR1L-5 0.1 0.06-0.15 17 10-25 325 40 1

※ 仕様および価格は予告なく変更する場合がございます。予めご了承ください。
※ UNCDはAdvance Diamond Technologies, Inc.の登録商標です。
※ ADTのロゴはAdvance Diamond Technologies, Inc.の商標です。

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